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  產品展示  
產品型號:
產品名稱:

FFU凈化過濾單元

發布時間:
2015/5/13 9:59:26
產品報價:
產品特點:
FFU英文全稱為(Fan Filter Unit),中文專業用語為風機過濾機組。FFU風機過濾機組可模塊化連接使用,使用FFU廣泛應用于潔凈室、潔凈工作臺、潔凈生產線、組裝式潔凈室和局部百級等應用場合。
FFU通常安裝在潔凈室的送風末端,一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風機模塊,下面部分為過濾器。根據潔凈度的要求,過濾器可為不同
 
FFU凈化過濾單元的詳細資料:

產品介紹

FFU(層流罩)具有特點:
*:靈活性。因為FFU是自帶動力的,它不受區域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里,可根據需要,分區控制。而且,隨著半導體生產工藝的變化,廠房布局必然要作相應調整,FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松,而且不會帶來二次投資。
第二:可再利用性。從理論上講,一時不用的FFU設備,可以拆下來,密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三:負壓通風。這是FFU的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓,使得送風靜壓箱相對于潔凈廠房負壓。這樣,靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區里,使得密封變得很簡單而且安全。
第四:縮短建設周期。使用FFU省掉了風管的制作和安裝,因為風管在潔凈工程中,占掉很大的建設周期,任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益,選用FFU成為了一種可能。
第五:減少運行成本。雖然在選用FFU時,初期投資要比使用風管通風高,但它在后期運行中,突出的表現出節能、免維護等特點。用在循環減少40%的運行成本。

FFU性能參數

模數尺寸:FFU常用的標準模數尺寸為1200X600(4’X2’),1200X900(4’X3’),1200X1200(4’X4’),吊龍骨中心線的間距。
實際尺寸: FFU過濾器的實際尺寸=模數尺寸-(龍骨斷面寬度-25mm),風機模塊的實際尺寸比過濾器稍大4mm。比如說常用的吊龍骨端面寬度為55mm,模數尺寸為1200,900,600所對應的FFU過濾器實際尺寸為1170,870,570,風機模塊的實際尺寸為1174,874,574。
機外余壓:在某一設定風速下,風機模塊的總靜壓(TSP)扣除HEPA/ULPA過濾器的阻力,即為機外余壓(ESP),單位是Pa。ESP是指FFU整機能克服潔凈室循環風阻力的能力,無論是標注FFU機外余壓或風機模塊的總靜壓TSP,都必需指名送風風速或風量,否則沒有意義。
輸入能耗:FFU正常運轉時輸入電壓和輸入電流的乘積,單位是W。顯然,FFU在不同的運行工況點,即在不同的運行風量和總靜壓時,輸入能耗不同。因此,如果不指明運行工況點,輸入能耗值沒有意義。
單體噪音:根據標準IES-RP-CC002,FFU正常運轉時在距離出風面中心正下方1.2mm處的噪音值,單位是dB(A)。FFU在不同的運行工況點,即在不同的運行風量和總靜壓時,噪音不同。因此,如果不指明運行工況點,噪音值沒有意義。
微振:根據標準IES-RP-CC002,FFU在*運轉工況點時的振動幅度和振動速率,單位分別是mm和mm/s。
送風均勻度:根據標準IES-RP-CC002,FFU正常運轉時,在距離出風面上方150mm(6”)的水平面上測量逐點的風速,得出平均風速值。平均風速與*風速和*小風速的偏差比即為送風均勻度,單位為+/-%。標準IES-RP-CC002中要求FFU的任一點的送風風速與其平均風速的偏差均應在+/-20%以內。
過濾器效率等級:依據歐洲標準EN1822,過濾器等級從H10-H14,U15-U17。或依據美國標準MIL-282(HEPA),對于0.3um的效率值;依據美國標準IES-RP-CC007.1,對于0.12um的效率值。
 


 

更新時間:2015/10/12 8:43:30

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